上海光源：鹦鹉螺光源

一只巨大而神奇的“鹦鹉螺”已悄然矗立在上海张江高科技园区西南部，这座
在阳光下熠熠生辉的环形建筑就是上海光源。利用上海光源中的X射线深度刻蚀光刻技术， 可制造肉眼难以看清的微型马达、微型齿轮、微型传感器、微型泵阀，以及微型医用器件等。工程师们还可以利用强大光速，完成对超大规模集成电路的“精雕细刻”。

北京光源：放大镜光源

项目位于怀柔科学城北部核心，整个建筑形似放大镜，寓意其为探索微观世界的利器。建筑主要包括加速器、光束线和实验站。环形加速器中产生的高通量X光经过“通道”到达实验站。装置建设完成后，最多容纳不少于90个实验站，可以为不同的样本做“体检”。装置设计寿命为30年，建成后还会不断改造，期望其工作寿命为50年。

雄安光源（待补充）：

松山湖光源（待补充）：

其中张江高科关联上海微电子、上海光源，手握传统光刻机及下一代光刻机（光刻工厂）两大利器，未来走势值得关注。