安信证券：推荐国内高纯洁净材料龙头新莱应材、气体输送系统龙头万业企业，从清洗设备切入半导体零部件的至纯科技。

安信证券在2022年9月25日研报中称，零部件是半导体设备核心，市场规模超400亿美元，品类众多，单一产品市场集中度高，技术壁垒高，国产化率低，部分品类率先突破，国产化快速推进。建议关注半导体精密运动控制系统龙头华卓精科[二哈]。

在其官网，华卓精科的主营业务为集成电路制造装备及关键零部件的研发和产业化，具体产品也没有“光刻机”的描述。

精密运动系统是一个动力装备，主要帮助零部件实现精密运动或定位。2018年至2020年，华卓精科精密运动系统及技术开发业务收入分别为6526.26万元、7997.78万元和9655.11万元，占同期主营业务收入的比例分别为76.14%、66.12%和63.47%。

2018年至2020年，华卓精科分别实现营收8570.92万元、1.21亿元、1.52亿元。华卓精科营收的主要来源并不是“工件台”，而是精密运动系统。招股书显示，目前营业收入占比较大的产品仍为精密运动系统。