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先锋的光刻机有两种可能,一是尼康的干式微影157mn

先锋的光刻机有两种可能,一是尼康的干式微影157mn,如果是这样就落后132mn沉浸式光刻一代。二是和132mn沉浸式光刻技术同等级的干式微影,这样就比市面成熟先进技术落后大概二代(代数是个人猜测),但头疼的是不能和euv方案无缝衔接,而且干式技术瓶颈也在这,需要国人突破了。

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06月04日 23:39
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