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PVD领域,AMAT 一家独大
PVD领域,AMAT 一家独大,约占全球市场份额的 80%以上;CVD 领域, AMAT、LAM、TEL 三家约占全球市场份额的70%以上。国内设备厂商中北 方华创薄膜设备产品种类最多,目前其 28nm 硬掩膜 PVD 已实现销售,铜 互连 PVD、14nm 硬掩膜 PVD、Al PVD、LPCVD、ALD 设备已进入产线验 证。中微半导体的 MOCVD在国内已实现国产替代。沈阳拓荆的 65nm PECVD 已实现销售。阿石创研发的PVD镀膜产品根据具体材质,已细化到上百种,在平板显示、光学元器件、节能玻璃等领域得到广泛应用,成为国内PVD镀膜材料行业产品品种较为齐全、应用领域较为广泛、工艺技术较为全面的综合型PVD镀膜材料生产商,下游客户包括京东方、蓝思科技、伯恩光学、苹果等多家国内外知名企业。
2019年03月07日 22:49
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