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金刚石散热层—华为刚刚发布半导体器件相关专利

华为公布新专利涉及金刚石散热层:

一种半导体器件及其制作方法、集成电路、电子设备。半导体器件包括第一外延层、钝化层和金刚石散热层。其中,钝化层位于第一外延层和金刚石散热层之间。第一外延层背离钝化层的一侧设置有栅极。钝化层朝向金刚石散热层的一侧表面设置有凹槽。沿半导体器件的厚度方向,凹槽在第一外延层上的投影覆盖栅极的至少部分。金刚石散热层覆盖钝化层并且填充凹槽(2024.12.03)

人造金刚石有两种合成路线,高温高压法和化学气相沉积法,国内主要采取高温高压法(HTHP)。高温高压法使用设备为六面顶压机(力量钻石、国机精工、四方达、黄河旋风)

此外,金刚石炉(京运通、晶盛机电)既可用于高温高压法合成也可以作为CVD法制备人造金刚石金刚石颗粒和金刚石膜,例如热丝CVD法金刚石炉。因此属于金刚石合成中的关键设备。金刚石炉用于模拟天然金刚石形成的高温高压环境,通过这种环境促使石墨粉等原材料转变成金刚石晶体。该环节直接关系到金刚石晶体的生产和质量,金刚石产业链中至关重要。

最近金刚石相关个股涨疯了,多数为六面顶压机,而金刚石炉还未炒作

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2024年12月05日 23:56
来自电脑网页版
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