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大族激光：公司在研光刻机项目分辨率3-5m

大族激光：公司在研光刻机项目分辨率3-5m。有投资者向大族激光提问， 董秘： 您好，请问贵司是否有计划开发用于芯片制造的纳米级光刻机？公司回答表示，公司在研光刻机项目分辨率3-5m，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，不涉及芯片制造领域，谢谢。

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2020年06月27日 18:01
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