近日,美国NIST发布了一个有关EUV光刻机的重磅报告。在其中,他们对EUV光刻的发展现状和未来进行了总结和展望。
2022年,半导体市场规模约为0.6万亿美元,商业分析师预计到2030年将翻一番,达到1.0万亿至1.3万亿美元。半导体制造业的大幅增长可以在光刻工艺中体现出。光刻是一种图案化工艺,将平面设计转移到晶圆基板的表面,形成晶体管和布线互连等复杂结构。这是通过一个复杂的多步骤过程,选择性地将光敏聚合物或光刻胶暴露在特定波长的光下完成的。最近,光刻技术的进步在生产最先进的半导体方面创造了竞争优势,使人工智能(AI)、5G通信和超级计算等最先进的技术成为可能。因此,先进的半导体技术会很大程度上影响国家安全和经济繁荣。