光刻机对温度控制精度要求极高（±0.01℃），直接影响芯片制造良率。海立股份深耕工业制冷技术，其高精度温控设备已应用于半导体光刻机冷却系统；同飞股份则聚焦液体恒温设备，2023年半年报披露其产品已导入半导体制造设备领域，技术指标达国际先进水平。此次上海微电子项目落地，两家公司有望通过绑定头部客户，实现光刻机温控国产化从“0到1”的突破。
随着国内晶圆厂扩产及先进封装需求激增，光刻机温控设备市场空间或超百亿。海立、同飞作为稀缺性标的，技术壁垒与先发优势显著。预计2025年两家公司相关业务营收同比增速或超50%，利润率随规模效应提升。政策扶持叠加国产替代窗口期，光刻机温控赛道高成长性明确，龙头价值亟待重估。
