据悉，中导光电设备股份有限公司（以下简称“中导光电”）研制的首台国产11代线高端量测设备（CDOL：自动线宽测量机）近日正式交付TCL华星T7工厂，这是中导光电继G8.5代线以下CDOL设备国产化之后又一次重要突破，标志着平板显示高端量测设备（CDOL）的短板全部补齐。

平板显示制造业属于半导体工业，是当代高端制造的一个战略制高点，因此也是《中国制造2025》重点支持的产业领域，平板显示设备制造业则是平板显示制造业的基础和关键所在，成为重中之重。由于历史的原因，中国平板显示设备长期被国外几家半导体设备供应商所垄断，尤其是前段（显示器面板在切割通电之前的工艺过程）设备，由于技术门槛高，综合性大，制造工艺复杂，以及战略意义重大等特点，一直是国外半导体设备供应商争夺的热点，也是我国高端装备制造的主要短板之一。

在TFT-LCD制造领域，由于各厂商对成本与效率指标的追求，新产线投资主要向大世代方向发展，11代线是当前世界范围内的最大世代产线。随着产线工艺尺寸的大幅提升，以及就良品率指标的进一步严苛，对产线设备的各方面技术指标提出了更为苛刻的要求。中导光电研发和生产的一系列检测和量测设备，正是提高产线良品率的、必不可少的重要生产设备。此次中导光电11代线CDOL（关键尺寸量测）高端设备的交付，是中导光电在填补多项国内该领域技术空白后的又一重大技术突破。

中导光电成立于2006年，是一家长期专注于平板显示高端检测装备研发、生产与销售的高新技术企业。公司创始人团队全部来自于美国硅谷顶尖半导体检测装备企业，具有该领域丰富的研发经验和深厚的技术积累。企业成立至今，累计销售各类高端检测设备产品逾300余台套，装机范围覆盖中国大陆及中国台湾数十条重要产线，并与京东方、TCL华星、深天马等国内多个主要平板显示制造企业建立了良好合作关系。

公司核心产品自动光学检查机（AOI）系列，主要应用于平板显示前道制程的缺陷检测，竞争对手为以色列奥宝科技、韩国HBT等海外企业。目前，公司AOI产品有线阵、面阵、离线、在线等不同种类和不同世代的各种组合，种类覆盖范围与世界行业龙头奥宝科技处同一水平。

中导光电此次交付的CDOL设备，是公司除AOI系列之外的另一拳头产品。该设备主要应用于平板显示前道制程领域的关键线宽尺寸测量，最高测量精度为亚微米级，重复精度达到20nm，处于国内领先和国际先进水平。

据相关专业人士观点，受全球经济指数影响，平板显示行业新增产线投资增速虽有放缓，但由于产线总量处于高位，在产线设备升级改造方面仍有较大市场空间。此外，由于疫情因素影响，国外企业在设备运输、售后服务等方面的保障能力受到较大限制，为国内企业拓展市场份额提供了良好机遇。