小犹涨停
华卓精科双工件台打破了ASML技术垄断
华卓精科双工件台打破了ASML技术垄断,成为继荷兰之后世界第二家掌握双工件台核心技术的公司。华卓精科的双工件台运用磁悬浮电机方案,可以利用磁悬浮电机驱动超精密的成片台,最高能实现纳米级分辨率的套刻精度。
华卓精科的双工件台目前主要用于65纳米至28纳米浸没式光刻机的研发,对于国产光刻机的赋能意义重大。而且1.7纳米的华卓精科工件台结合28纳米沉浸式duv ,在理论上可以经过多重曝光实现7纳米芯片的制造。
2022年12月30日 00:17
来自电脑网页版
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2022年12月30日 23:43
来自财经客户端