ASML、北方华创、芯源微等中标积塔项目超30台设备
集微网消息，招标平台信息显示，5月10日，上海积塔半导体有限公司（以下简称“上海积塔”）多项设备中标结果公布。北方华创、拓荆科技、芯源微、阿斯麦（ASML）等成功中标上海积塔特色工艺生产线项目33台设备，包括i-line光刻机、KrF光刻机、等离子去胶机、铝刻蚀机、铝金属物理气相沉积机等。
其中，北方华创中标10台设备，包括合金化工艺低压立式炉管、缓冲层氧化膜炉管、铝刻蚀机、铝金属物理气相沉积机、铝铜金属溅射设备等；拓荆科技中标3台二氧化硅等离子薄膜沉积设备、8台二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等离子薄膜沉积设备；芯源微中标1台聚合物涂胶显影机；阿斯麦中标2台i-line光刻机、1台KrF光刻机。